季刊
国家开发投资公司主管
中国电子工程设计院有限公司;中国电子学会洁净技术分会主办
期刊信息
| 主管单位: | 国家开发投资公司 |
| 主办单位: | 中国电子工程设计院有限公司;中国电子学会洁净技术分会 |
| 国际刊号: | ISSN 1005-3298 |
| 国内刊号: | CN 11-3395/TM |
| 创刊时间: | 1994 |
| 刊期: | 季刊 |
| 出版地: | 北京市 |
| 期刊定价: | ¥/期 |
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